爪式干式真空泵

爪式干式真空泵

 
爪式干式真空泵产品1980年代末在市场上出现到现在为止,已经近20年了。而对这种泵的研究和开发,则远不止20年。
 
涡旋机构是法国人Creux在1905年的发明专利。当时因涡旋机构对加工工艺及设备等要求高,没有加工设备,直至70年代高精度加工中心出现才实现这种机构。
 
涡旋机构的动、定涡旋盘的涡旋曲线基本相同,动涡旋盘相对于定涡旋盘偏心并相差 180°对向配置安装,其轮廓线围成月牙形腔体,动涡旋盘运动时这个月牙腔向中心处移动并连续地逐渐变小,最后到中心处腔体最小,对内部气体实现高效率压缩。
 
基于这样的原理产生了涡旋机构。包括涡旋真空泵与涡旋压缩机等。
 
爪式干式真空泵的主要运动部件只有一个动涡旋盘,因而动力传递简单,结构紧凑,整机尺寸小,零部件少;进气与排气同步并连续单向进行,排气过程几乎没有气流脉动,无气体动力噪声,驱动扭矩变化小,运转平稳,振动和机械噪声低,转速能大大提高(可达36000r/min);动、定涡旋盘之间以及动涡旋盘与泵腔之间间隙小,运动件与腔体无摩擦,故几乎无磨损,消耗功率小,节省能源;工作可靠性高,容积效率高;气流通道全无油,能创造清洁无油的真空环境。
 
由于这种泵具有普通油旋片泵不可比拟的优点,但动涡旋盘形状特殊,加工、装配、定位要求精度高,且加工必须用加工中心,成本较高,也有很大的技术难度,所以其核心技术至今掌握在世界一流的真空科学与技术专家的手中,目前只有少数国家能达到质量要求,目前世界上商业化生产与销售爪式干式真空泵的公司主要有Anest Iwata、Varian、Edwards、Busch等和我们纪维公司。纪维公司的产品包括爪式干式真空泵、无油涡旋真空压缩机、无油真空系统气体尘埃颗粒过滤器与专用密封条等。
 
在替代普通油旋片泵方面,爪式干式真空泵以其抽气过程全无油、低能耗、低噪音、气体压缩连续进行使力矩与压力波动很小并且容易控制、单级可以分成3~4个腔体使压缩比大这样的特点,发展迅速,成为粗真空阶段小型无油真空泵的主流产品。  
 
如同每一种新产品和新技术的产生、发展的历程一样,爪式干式真空泵从产品出现到现在,仍然处于不断的技术改进和完善的蓬勃发展过程中。

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